Corning представляет стекло EXTREME ULE для микрочипов следующего поколения

Corning Incorporated, один из ведущих мировых новаторов в области стекла, керамики и материаловедения, сегодня представила Corning EXTREME ULE Glass, материал следующего поколения, который поможет производителям микросхем удовлетворить быстро растущий спрос на передовые и интеллектуальные технологии. Новый материал поможет производителям микросхем улучшить фотошаблоны — трафареты для проектирования микросхем, — которые имеют решающее значение для массового производства современных самых передовых и экономически эффективных микросхем.

Компания Corning разработала стекло EXTREME ULE Glass, выдерживающее литографию экстремального ультрафиолета (EUV) высочайшей интенсивности, включая EUV с высокой числовой апертурой (High NA), которая быстро становится отраслевым стандартом. Литография EUV позволяет производителям использовать самые передовые фотошаблоны для создания шаблонов и печати самых маленьких и сложных конструкций чипов. Этот процесс требует исключительной термостойкости и однородного материала стекла, чтобы обеспечить постоянную производительность производства.

«Поскольку требования к производству интегрированных чипов растут с развитием искусственного интеллекта, инновации в области стекла важны как никогда», — сказал Клод Эхахамиан, вице-президент и генеральный директор Corning Advanced Optics. «EXTREME ULE Glass расширит важную роль Corning в продолжающемся стремлении к закону Мура, помогая обеспечить более мощное производство EUV, а также более высокую производительность». Тепловые характеристики расширения стекла EXTREME ULE помогают обеспечить замечательную однородность и производительность для всех фотошаблонов. Кроме того, исключительная плоскостность и однородность стекла значительно снижает волнистость